晶圆制造
一家晶圆厂把夜班异常排查交给 Micius 模型，工程师负责关键决定
聊聊你的产线 
- 4 类系统
- 原来几个人分头查，现在 Micius 模型连续查完
- 先批准，后执行
- 动机台、影响生产的操作，都要工程师确认
- 报告入库
- 每次排查写成报告，经工程师审核后存进知识库，下次先参考
凌晨，MES 弹出一条报警：一台刻蚀机的腔体，MFC（质量流量控制器）流量连续几批偏离设定值，CD（关键尺寸）均值越过控制上限。这家厂有多条产线，夜班常由工作半年到一年的工程师值守，一条报警要几个人分头查四个系统。
现在，报警先交给知满的半导体行业模型 Micius。它自己进 MES、设备、工单和文档四个系统取数比对，再把证据链和处置方案发回给值班工程师。动机台、改参数的操作，没有工程师批准就不执行。处理完由它起草报告，工程师审核后入库。
流程示意以前几个人跨四个系统接力；现在 Micius 连续查完，人来批准。
排查
四个系统里的证据，一次查齐
以前，这样一条报警要几名值班工程师分头查：MES 的批次数据、设备日志、工单里的类似故障，必要时还得走到机台前。查回来对照 SOP 和历史故障记录讨论，定不下来就打电话找资深工程师。工厂不可能给每条产线都配一位干了十几二十年的老师傅，判断准不准，很大程度看当晚值班的是谁；SOP、设备手册和处理经验散在不同系统里，新人不知道去哪找。
Micius 本身懂半导体工艺和设备，又读过这家厂的 SOP、设备手册、历史异常案例和工程师的排查思路，也能像工程师一样直接操作这几个系统。报警入口没变，MES 报警监控里标红的那一行，连着机台、腔体、批次和异常参数一起推给它。它先核对有没有正在执行的处置方案；FDC（故障检测与分类）报警和 SPC（统计过程控制）越限同时出现，只能说明两者相关，它先列出还缺哪些证据。
接着它照清单一项项查。先在 MES 里把这几个批次和同一配方的历史批次放在一起比：是超出控制限还是超出规格限，偏高、偏低还是趋势变了。再进设备系统，取真空、等离子体、温度、压力、气体流量等加工数据，需要时画趋势图和参数关联图，看哪项参数在什么时候突变、哪几项一起偏移。
数据不够，它自己决定下一步查什么：去工单系统找类似故障，去文档系统查这台设备的 SOP 和维修记录。几条证据互相印证了，它才停下。
比如，同一配方的四个腔体，只有一个越过控制上限；六项参数里，只有 MFC（质量流量控制器）流量跟着 CD（关键尺寸）走；一张未完成的校准工单和一条历史案例也指向它。证据齐到这个程度，Micius 给出的仍是“首要假设”，复机验证通过才算根因。
流程示意只有一个腔体在漂、一项参数跟着 CD 走，工单和旧案例也指向它。
批准
动机台之前，先等工程师批准
有了首要假设，Micius 给出处置建议。凡是要动机台、改参数、影响生产的操作，它都不会自己执行。分析结果、依据和建议操作发到即时通讯工具上，有权限的工程师在手机上批准或驳回。
还是那个腔体。推到手机上的方案给出可能的原因是 MFC 零点漂移，再列出三步操作：干法清洁腔体、校准 MFC 零点、用监控片复机验证。验证通过之前，派工保持暂停。
它执行任何操作，都受设备权限、安全联锁和生产控制规则约束。批准之后，Micius 可以执行工厂事先授权的操作，比如调整许可范围内的参数、触发规定的处理流程。
执行之后，Micius 盯着监控片的复测数据，逐轮确认参数和 CD 回到放行窗口，满足复机条件才恢复派工。中途出现新问题，它接着分析，必要时再请工程师介入。
沉淀
把一夜的排查写成下次的经验
派工恢复，还有一份 8D 报告要写。熬了一夜，很少有人还有精力写完整，排查的思路和证据就留不下来。现在报告由 Micius 起草：从报警时间、机台、批次，到异常参数、查过的数据和文档、判断依据、操作与结果，每一步都有记录，可以逐条追溯。
那次腔体漂移的报告分成事件与影响、诊断依据、处置与验证、复用条件四部分，附有从报警到批准每一步的时间。复用条件写的是：同型号机台，CD 漂移与 MFC 流量同步、其他参数平稳，可以先参考这条案例。值班工程师审核无误再入库。下次同类报警，它会把这条案例和实时数据放在一起对照；这些案例也可以用于模型后续的训练和评测。
成果
资深工程师从接电话变成审结论
过去，资深工程师半夜要接电话，远程指导夜班去哪个系统查什么；现在取数、分析、出方案大多由 Micius 先做完，他们审的是重要结论和关键操作。一位资深工程师在电脑、手机甚至手表上，就能同时照看多条产线的异常处理。
和人工值班相比，Micius 处理异常更快，判断也更准。这家工厂正在推动把这套值班方式复制到更多产线。
执行权限开到哪一步由工厂定；动机台的每一步，仍然等工程师批准。
这套做法也适用于
-
量测与良率异常
量测越限或良率突降时，先比对同产品、同机台、同配方的历史数据，再列出可能原因和要补的证据。
-
设备 PM 后复机
保养后参数漂移、复机验证不过，查维护记录和同型号机台的历史，给出调整建议，批准后跟进验证。
-
交接班摘要
把一个班次里所有报警的处理经过整理成交接摘要，下一班接手时直接看结论、证据和待办。
-
封测产线异常
测试良率异常或设备停机时，按同样的方式跨系统排查、请人批准、执行后验证、写报告。
